សេចក្តីផ្តើម៖
ការរកឃើញ និងការវិភាគនៃអុកស៊ីសែនរំលាយកំហាប់ទាបនៅក្នុងទឹកសម្រាប់រោងចក្រថាមពល និងឡចំហាយកំដៅសំណល់ ព្រមទាំងតាមដានការរកឃើញអុកស៊ីសែននៅក្នុងទឹកសុទ្ធនៃឧស្សាហកម្ម semiconductor ។
កម្មវិធីធម្មតា៖
ការត្រួតពិនិត្យភាពច្របូកច្របល់នៃទឹកពីការងារទឹក ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពទឹកនៃបណ្តាញបំពង់ក្រុង; ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពទឹកនៃដំណើរការឧស្សាហកម្ម លំហូរទឹកត្រជាក់ តម្រងកាបូនដែលបានធ្វើឱ្យសកម្ម សារធាតុចម្រោះភ្នាស។ល។
លក្ខណៈសំខាន់ៗ៖
◆ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងមានភាពរសើបខ្ពស់៖ ដែនកំណត់នៃការរកឃើញឈានដល់ 0.01 μg/L គុណភាពបង្ហាញគឺ 0.01 μg/L
◆ការឆ្លើយតប និងការវាស់វែងរហ័ស៖ ចាប់ពីកំហាប់អុកស៊ីហ្សែនក្នុងខ្យល់ដល់កម្រិត μg/L វាអាចវាស់បានក្នុងរយៈពេលត្រឹមតែ 3 នាទីប៉ុណ្ណោះ។
◆ប្រតិបត្តិការ និងការក្រិតតាមខ្នាតដ៏សាមញ្ញបំផុត៖ ការវាស់វែងអាចត្រូវបានធ្វើឡើងភ្លាមៗបន្ទាប់ពីបើកឧបករណ៍ ដោយមិនចាំបាច់ប្រើប៉ូលអេឡិចត្រូតរយៈពេលវែងនោះទេ។
◆ប្រតិបត្តិការ និងការក្រិតតាមខ្នាតសាមញ្ញបំផុត៖ ការវាស់វែងអាចត្រូវបានធ្វើឡើងភ្លាមៗបន្ទាប់ពីបើកឧបករណ៍។ មិនចាំបាច់មានអេឡិចត្រូតរយៈពេលវែងទេ។ អេឡិចត្រូតមានអាយុកាលវែង៖ អេឡិចត្រូតមានអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ កាត់បន្ថយការចំណាយលើការជំនួសអេឡិចត្រូតញឹកញាប់។
◆រយៈពេលថែទាំយូរ និងសម្ភារៈប្រើប្រាស់ដែលមានតម្លៃទាប៖ អេឡិចត្រូដត្រូវការការថែទាំរៀងរាល់ 4-8 ខែសម្រាប់ការប្រើប្រាស់ធម្មតា ដែលមានលក្ខណៈសាមញ្ញ និងងាយស្រួល។
◆ការប្រើប្រាស់ថាមពលទាប និងរយៈពេលប្រតិបត្តិការយូរ៖ ដំណើរការដោយថ្មស្ងួត ពេលវេលាធ្វើការបន្តលើសពី 1500 ម៉ោង។
◆កម្រិតការពារខ្ពស់ និងការរចនាដែលងាយស្រួលប្រើ៖ តួមិនជ្រាបទឹកពេញលេញ។ ការភ្ជាប់ម៉ាញេទិក; ស្រាល និងងាយស្រួល
ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស៖
